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EVG101 匀胶机 匀喷胶机 光刻胶处理机价格:¥ 1
- 品牌: EVG
- 型号:EVG101
- 产地:奥地利
EVG101光刻胶处理系统在单室设计上可以满足研发工作,与EVG的自动化系统完全兼容。EVG101支持zui大300 mm的晶圆,可配置为旋涂或喷涂和显影。使用EVG先进的OmniSpray涂层技术,...
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EVG610 单面/双面EVG光刻机 微流控加工 纳米压印价格:¥ 1500000
- 品牌: EVG
- 型号:EVG610
- 产地:奥地利
EVG610支持各种标准光刻工艺,如真空,硬,软接触和接近式曝光模式,可选择背部对准方式。此外,该系统还提供其他功能,包括键合对准和纳米压印光刻(NIL)。
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EVG光刻机技术资料
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EVG101
EVG101简介
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EVG101