微纳加工

微系统（Microsystem,欧洲惯用词）、微机电系统（Micro Electro Mechanical System,MEMS,美国惯用词）和微机械（Micromachine,日本惯用词）能够将

微纳加工外协|光电器件|MEMS|干法刻蚀|离子束|紫外光刻|电镀纳米加工分为三个不同的领域：薄膜、光刻和蚀刻。关于薄膜，采用蒸镀等物理气相沉积方法；溅射；和脉冲激光和化学气相沉积对低压 CVD、等

微纳加工|惯性传感器|MEMS加速度计|MEMS微震仪|MEMS重力仪mems传感器（AlN/PZT等压电器件/热电堆/微流控/气体传感器/压力传感器等）微机电系统（MEMS）|微纳加工|惯性传感器