低温等离子体（Plasma）应用已经是一个具有影响的重要的科学与工程，对高科技经济的发展及传统工业的改造有着巨大的影响。三分之一微电子器件设备采用等离子体技术，高分子材料百分之九十都要经过低温等离子体清洗和等离子体表面处理。科学家预测：二十一世纪低温等离子体科学与技术将会产生突破，低温等离子清洗机、等离子处理机、等离子表面处理设备在半导体工业、聚合物薄膜、生命科学、等离子体合成、等离子体三废...