一站式微流控SU8模具加工工作站（不需要无尘室和超净间）

一站式微流控SU8模具加工工作站（不需要无尘室和超净间）

没有无尘室，您依然可以加工自己的SU-8模具
我们的SU-8光刻台式工作站包括您在实验室加工微流体模具所需要的一切组件，即使没有超净间，凭借该SU-8模具工作站，您也可以加工出来具有与超净间相同的分辨率的模具。SU-8模具工作站可以缩短芯片加工的总时间，快速实验您自己的微流体实验研究。

一站式SU-8模具加工站
我们的SU-8模具加工站是一个交钥匙的产品，无需购买任何其他设备。基本上，仅需要一个化学通风厨和少量的工作空间。我们也会根据您实验室内现有的设备来调整报价。

优势&特点
（1）达到与超净室相同的图案分辨率
（2）获得强大的光刻胶图案，可用于众多未来的PDMS模塑。
（3）使用健壮的工艺流程，轻松实现可重复性
（4）即使没有微加工的初步知识，您也可以熟练的加工模具
（5）获得**的模具加工设备，以确保您的设备具有较长的使用寿命

包含的组件
配套设备
（1）数字电热板
（2）UV灯系统
（3）可编程旋涂机
配件与化学品
包括所有化学药品（SU-8，SU-8显影液、Omnicoat、异丙醇、丙酮等）和所有实验室配件（微量移液枪、计时器、玻璃器皿、封口膜、镊子、金刚石刮板、硅片、玻璃载玻片、一次性杯子、搅拌棒、手术刀等），以便为您提供最完整的套件。

技术支持
标准技术支持包：我们会为您提供所有仪器的售后服务，为您提供微细加工过程表格和教程，同时提供1年的电话支持，以回答您可能遇到的任何微细加工问题。

扩展支持包：除了标准的技术支持包，我们研发团队还会在您的实验中直接安装您的设备，我们会根据您的需求在现场调整我们的所有微加工工艺，并培训您的团队，直到准备好加工所有微流控芯片为止。

技术规格参数
我们为您选择并采用了**的仪器，以使其与可靠的加工过程协同工作。您可以从下面看到设备的简短说明。

旋涂机

该旋涂机结构紧凑，并且具有高级功能。它适用于直径ø150 mm的晶圆和5” × 5”（127 mm × 127 mm）的基板。此旋涂机经过微调，可加工可控和可重复的SU-8光致抗蚀剂层。

适用于软光刻应用的设备

其紧凑的尺寸和附加的小面板控制使该设备实现真正的移动。该旋涂机已广泛应用于SU-8光刻胶涂层。盖子上的孔可以进行动态SU-8涂覆。通过蓝牙轻松连接到您的PC，您可以保存并命名您的实验配方。

主要优势
（1）专为易用性设计
（2）易于通过操作面板或PC进行编程
（3）能够设置多种加速度和速度的复杂序列
（4）无堵塞，延长使用寿命
（5）低振动
（6）转速高达12000 rpm
（7）提供晶圆对中工具

UV灯系统

独特的UV LED曝光和遮罩系统（可选），具有365 nm或者385 nm波长的可用光源。这是一种非常紧凑的台式系统，能够对直径最大为4英寸的晶圆表面积进行曝光。该自动UV曝光系统与硬（物理）或软（接近）掩膜触点兼容，并具有可变的掩膜到基板距离的控制功能。

适用于软光刻应用的设备

该UV曝光系统具有2μm的分辨率，特别适合软光刻应用。闪光曝光可以减少光刻胶的内部机械应力。其体积小巧，可将其安装在所需的任何位置，尤其是在洁净室之外。

主要优势：
（1）晶圆表面上方的wan美单色曝光（带宽低于10 nm）
（2）冷紫外线
（3）光线发散角＜2°
（4）强大的功率密度
（5）LED使用寿命长：超过1万小时，相当于8-10年的使用时间
（6）用户友好的触摸屏界面，可进行曝光周期编程
（7）无需预热时间
（8）直观的UV光源强度控制
（9）自动化晶圆加载和卸载系统
（10）可与玻璃和塑料光罩一起使用
（11）在4英寸晶圆上具有很高的紫外线均匀度
（12）集成紫外线仪表

可编程热板
 

确保准确、均匀且稳定的温度设定点。该数字式热板设备可设置温度斜坡以进行加热和冷却。通过可编程控件使您的生活更加轻松，这些控件可以实现光刻过程的自动化。

适用于软光刻应用的设备

可编程热板的顶板和很大的加热表面积使它具有足够宽的区域，温度均匀，可以在4英寸的晶片上有效地烘烤SU-8光刻胶。温度斜坡使得能够减小光致抗蚀剂层内部的机械应力。可编程工具可进行长时间的光刻胶烘烤，而无需停留在设备的面前。

主要优势：
（1）加热和冷却的温度斜坡曲线
（2）4英寸晶圆的高温均匀性
（3）微处理器显示屏保持温度恒定
（4）最小温度超调
（5）自动计时器
（6）光滑的铝板，易于清洁光刻胶
    
更多信息
自动匹配您实验室现有设备的报价！
由于每个实验室都是不同的，因此，每个研究都是独特的，所以我们会根据实际需求尽可能地调整报价。我们与您一起讨论什么是效率最高的设备，从而增加或删除设备、配件、化学品等等。

请您随时联系我们并对您的实验设备进行评估且给出项目建议。

可选项
我们已经创建了基本报价，其中包含完整工具集所需要的一切，但是可以对其进行一些选择或修改以更好地满足您的需求。请查看我们的产品概述，以了解有关产品选项的更多信息。
    
除此之外，我们在这里收集了一些更适合您的SU-8模具工作站的可选设备。

空气压缩机

配备高达8 bar的空气压缩机，可替换实验室内的任何气体管线。

真空泵

小型真空泵可替换实验室内的任何真空管线，以便进行除气，并牢固地保持旋涂机上的所有基材。

显影振动机

要对厚的光刻胶层进行轻松的显影，可以使用该显影工具，它将在您整个显影期间为您带来**抖动。

光学轮廓仪

如果要检查模具的厚度，我们可以为您提供此光学轮廓仪。该光学轮廓仪易于使用，体积小巧，适合您的实验室工作台，是市场上性价比**的一款轮廓

微流控芯片PDMS实验室加工空间和一览