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上海伯东普发涡轮分子泵组脉冲激光沉积系统应用

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实验/设备条件
样品提取
实验/操作方法
实验结果/结论
仪器/耗材清单
伯东公司成立于1953年，范围内有一千七百名员工伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备电子零部件加工销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币伯东公司在国内主要城市：北京苏州广州深圳成都及厦门设有营业据点上海伯东真空产品事业部秉承为广大ZG客户提供世界yi流的真空产品推动ZG真空工艺发展承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业半导 脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition, PLD），是一种利用激光对物体进行轰击，然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上, 得到沉淀或者薄膜的一种手段. PLD 系统由多个真空腔体组成，整个系统需要超高真空且不能引入任何杂质，对环境的清洁度要求较高，必须配备无油干泵和分子泵抽真空由于各个辅助腔体体积较小, 因此特别适合使用 pfeiffer Hicube 系列分子泵组. 伯东公司销售维修的 Pfeiffer 分子泵组因其结构紧凑体积小，清洁无油（前级泵配备干泵）抽速快极限真空度高达10-11mbar等优点一经上市好评如潮 伯东普发经济型分子泵组 HiCube 80 Eco 伯东Pfeiffer 分子泵 Hipace 700 伯东德国普发分子泵Hipace 300
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