双电测数字式四探针测试仪基本技术参数

内容节点: 概述; 实验/设备条件; 样品提取; 实验/操作方法; 实验结果/结论; 仪器/耗材清单

双电测数字式四探针测试仪/双电测四探针检测仪型号:HAD-2263 概述 HAD-2263型双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测-改进形范德堡测量方法测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准利用电流探针电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高极ng确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试 仪器成套组成：由主机选配的四探针探头测试台以及PC软件等部分组成 主机主要由精密恒流源高分辨率ADC嵌入式单片机系统组成，USB通讯接口仪器主机所有参数设定功能转换全部采用数字化键盘和数码开关输入；具有零位满度自校功能；测试功能可自动/手动方式；仪器操作可由配套软件在PC机上操作完成，也可脱PC机由四探针仪器面板上独立操作完成测试结果数据由主机数码管直接显示，也可连机由软件界面同步显示分析保存和打印！ 探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体金属导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜金属涂层或薄膜陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻金属导体的低中值电阻以及开关类接触电阻进行测量 测试台选配：一般四探针法测试电阻率/方阻配HAD-A或HAD-B或HAD-C或HAD-F型测试台 详见四探针仪器探头和测试台的特点与选型参考 仪器具有测量精度高灵敏度高稳定性好智能化程度高测量简便结构紧凑使用方便等特点 仪器适用于半导体材料厂器件厂科研单位高等院校对导体半导体类半导体材料的导电性能的测试，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试 三基本技术参数 3.1 测量范围 电阻率：1×10-4～2×105 -cm，分辨率：1×10-5～1×102 -cm 方阻：5×10-4～1×106 /，分辨率：5×10-5～1×102 / 电阻：1×10-5～2×105 ，分辨率：1×10-6～1×102 3.2 材料尺寸(由选配测试台决定和测试方式决定) 直径：HAD-A圆测试台直接测试方式 15～130mm，手持方式不限 HAD-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限. 长(高)度：测试台直接测试方式 H100mm, 手持方式不限. 测量方位: 轴向径向均可 量程划分及误差等级 满度显示 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 常规量程 k-cm/ k-cm/ -cm/ m-cm/ 基本误差 ±2%FSB ±4LSB ±1.5%FSB ±4LSB ±0.5%FSB±2LSB ±1.0%FSB ±4LSB 四探针探头（选配其一或加配全部） (1)碳化钨探针：0.5mm，直线探针间距1.0mm，探针压力: 0～2kg 可调 (2)薄膜方阻探针：0.7mm，直线或方形探针间距2.0mm，探针压力: 0～0.6kg 可调 3.6 电源 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功耗：<20W 3.7 外形尺寸： 主机 220mm（长）×245 mm（宽）×100mm（高）