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激光干涉仪极ng确测量的局限性

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激光干涉测试方法常用于高精度测量和定位,这是由于这种方法具有较高的测量分辨率和精度,甚至可以用于大尺寸范围的测量
本文ZD讨论了外差式和单频式干涉仪的基本原理,并进行了相应的计量分析来描述激光干涉法的优势和局限性
本文还讨论了光纤耦合式微型干涉仪的设计和功能,以及在显微技术纳米技术和高精度机电一体化等方面的广泛应用 激光干涉法热膨胀测试系统

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