本方案能让平常只能在常温下进行样品电测试的探针台,增加样品温控的功能这样有几个好处: 一成本低在探针台上多加个高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘就能做温控条件下样品探针测试,相当于一个温控探针台; 二技术权威Instec冷热台控温好,-190~600上下通吃,稳定性不差于0.05,台面温度低梯度,表面粗糙度低台面能接地能电悬空,设备还能通3轴接口这是出自美国名校科罗拉多大学的Instec其30年经验历史保证; 美国Instec 圆形高低温/温控晶圆夹盘/卡盘系列/探针台用 美国Instec 方形高低温/温控晶圆夹盘/卡盘系列/探针台用 美国Instec HCC302高低温/温控晶圆夹盘/卡盘系列/探针台用 美国Instec HCC602高温温控晶圆夹盘/卡盘系列/探针台用 美国Instec TC102S TC104S 半导体温控晶圆夹盘/卡盘系列/探针台用
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