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真空腔体如何检漏

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问题:真空腔体如何检漏

原因:真空腔体存在很多的焊接面和法兰面,如果焊接不良或者法兰面夹杂异物等原因,就会造成真空腔体的泄漏。

解决方案:为了查明泄漏点和具体漏率,将歌博科技氦质谱检漏仪(下称检漏仪)通过波纹管连接在真空腔体上。对腔体进行抽空检漏(注:若腔体体积较大,可能需要添加辅抽泵对腔体抽空,提高工作效率),在真空腔体表面从上到下喷氦,氦气会通过漏孔进入到腔体内部,Z终被检漏仪检测到。因为腔体内部是真空状态,不受空气中氦气本底的影响,所以检测精度Z高可以达到10-13 Pa·m3·s-1,完全可以满足客户生产需求。



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