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用安东帕原子力显微镜表征铜上的纳米压痕

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概述
实验/设备条件
样品提取
实验/操作方法
实验结果/结论
仪器/耗材清单

纳米压痕是一种测量材料力学性能的技术,它用
一个确定形状的压头或探针在一定的载荷下压入待测
的表面。这种技术广泛应用于纳米尺度下测量块体材
料或镀层的硬度和弹性模量,尤其是晶态金属材料。
压痕过程的一个副作用是,压痕材料可以在压痕周
围“堆积”或“下沉”。这种堆积和下沉效应会引起对接触
面积的不正确估计,从而导致通过传统的Oliver–Pharr
方法计算的力学性能被高估或低估。

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