我们最近开发了一个独特的系统,该系统旨在监控用于CMP 处理的胶体浆料的
粒径分布(PSD)的大颗粒尾部。基于单粒子光学传感(SPOS)技术,我们的
AccuSizer 780 / OL 工具可产生具有前所未有的精度和分辨率的异常颗粒的颗粒
计数与直径数据,这些异常颗粒可能会在抛光过程中在晶片表面造成缺陷,并且
存在的量不一在所有浆液源中与整体方法不同,例如激光衍射(将亚微米范围内
的Mie 散射与大于1 微米的Fraunhofer 衍射结合在一起),SPOS 技术仅对总粒
子数量的一小部分做出响应-通常大于0.5 微米的粒子。但是,与激光衍射不同,
SPOS 方法可产生真实的分布,一次堆积一个粒子,而没有严重困扰激光衍射的
严重伪影。很容易揭示出大粒子离群点(通常是较小的基团的团聚体)浓度的细
微变化,这些细节对于评估CMP 浆料的质量至关重要,通常通过诸如激光衍射
或超声衰减之类的整体方法会完全忽略掉这些细节.
通过Agilent 5977A 系列GC/MSD 开发了一种用于检测16 种PAH 的方法,方法检测限低至5
氯霉素是一种价格廉宜的广谱抗生素氯霉素在某些易感个体中涉及毒性作用欧盟加拿大美国以及一些亚洲和南美国家均禁止
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LiNaKRb等碱金属,由于其核外电子数少,原子发光强度较低,会降低仪器对其检测的灵敏度 碱金属元素经盐化后
为防止其饮料腐蚀性,通常会在饮料罐内壁涂覆高聚物多层淋膜由于降低了环境的负担,且不需要增加在制造过程中实施内
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在 Agilent 7000 系列三重四极杆气质联用系统上 ,使用 NCI GC/MS/MS 模式和反吹功 能开发了一种地表
本实验开发了一种高灵敏度、高可靠性方法,用于测定饮用水中 51 种非极性化合物和废 水中 PBDE、PAH 和二嗪农。