FIB-SEM双束电镜应用之TOF-SIMS轻元素分析

方案优势EBSD，即电子背散射衍射技术，是利用SEM快速测定样品表面的微区晶体取向，并可以根据微区晶体取向的

方案优势近年来锂离子电池已经成为研究的一个热点，而锂离子电池的阴极材料在使用过程中的电化学变化对电池的性能至

方案优势FIB—SEM双束电镜应用领域： 1. 制备TEM样品 2. 截面抛光 3. 微纳米器件的制备及性能测量 4. 三维

方案优势Xe等离子FIB能够实现微纳米，甚至毫米级的快速加工。Xe等离子FIB的zui大束流为2μA，另外X

方案优势FIB能够通过连续切片提供3D的形貌信息，尤其在生命科学领域有着广阔的应用前景。但是生物样品都是经过

方案优势截面抛光是FIB主要用途之一。所谓截面抛光就是利用离子束将样品剖开观察内部的结构，从而分析样品内部的

01双束电镜的原理双束电镜是由聚焦离子束( FIB) 与扫描电子显微镜结合而成的双束(电子束/离子束) 系统。聚焦

方案优势在使用扫描电镜过程中，通常需要对医学组织细胞的几何尺寸进行测量及统计， TESCAN的颗粒度分析软件可

方案优势在使用扫描电镜过程中，通常需要对粉末微颗粒样品、晶相样品、医学组织细胞的几何尺寸进行测量及统计， TE