光纤对准解决方案推荐产品

内容节点: 概述; 实验/设备条件; 样品提取; 实验/操作方法; 实验结果/结论; 仪器/耗材清单

【概述】
一套完整的光纤对准解决方案是对准器械、控制电子产品、软件和系统的集成。MKS能够提供其中所需的任何组件、软件和专业知识。
运动控制 光分析 光学元件 光学平台 其他

典型光纤对准系统要求

研发
有限自动化
小批量
大批量
对准精度和
zui小位移增量
1 微米
200 纳米
100纳米
50至100纳米
速度/生产周期
几分钟
（通常取决于用户）
几秒或几分钟
（通常取决于用户）
几秒钟
几秒钟
重复精度
不太关键
（通常取决于用户）
几百纳米
几百纳米
<100 纳米
MTBF/可靠性
不太关键
几千小时
几千小时
>10,000小时

电动和手动位移台
电动位移台
电动位移台, 由电磁电机驱动，常用于生产环境，以实现对准流程的自动化。它们通常具有亚微米级 MIM 和重复定位精度，能够极大地提高使用这些平移台组装的电信设备的质量和性能。在 MKS，我们保证所发布产品的性能指标。所有平移台都会经过出厂测试，符合或优于保证指标，典型指标优于保证值约2 倍。

l XM 系列：严苛的制造和测试、测量应用的最zhong解决方案。
l MLT 系列：经济款紧凑型高性能解决方案。
l VP 系列：专为光纤对准而设计的模块化紧凑型系统。
l VP-Z 垂直平移台：可从任何一侧轻松接触负载（VP XYZ 堆叠的薄型替代品）。
行程范围
50-350 mm
25-250 mm
25 mm
4.8 mm
zui小位移增量
1 nm
5 nm
10或100 nm
60 nm
定位精度
±0.2至±0.5 µm
±0.3至±3 µm
±0.4至±0.5 µm
±0.6 µm
重复定位精度
±0.03至±0.035 µm
±0.15 µm
±0.05至±0.06 µm
±0.1 µm
zui大速度
300 mm/s
500 mm/s
25 mm/s
5 mm/s
其他特性
无铁芯直线电机
高扭矩直线电机
小巧、紧凑、轻便
无障碍接触运动平台
用途
✓ 大批量
✓ 小批量
✓ 大批量
✓ 研发
✓ 有限自动化
✓ 小批量
✓ 大批量
✓ 研发
✓ 有限自动化
✓ 小批量
✓ 大批量

六足位移台是一种并联运动机械装置，使用六个共同并行移动的促动器，能够在笛卡尔坐标系中提供六轴运动范围。所有轴的移动相互依赖，意味着一个轴的运动会降低其他轴的行程。六足位移台能够实现线性和角度运动的复杂组合，对关键的旋转调整特别有用。

l HXP 六足位移台: 需要六个自由度时的解决方案。
HXP50
六足位移台
X
Y
Z
ΘX
ΘY
ΘZ

行程范围
±17 mm
±15 mm
±17 mm
±9°
±8.5°
±18°

最小位移增量
0.1 µm
0.1 µm
0.05 µm
0.05 mdeg
0.05 mdeg
0.1 mdeg
重复定位精度
±0.6 µm
±0.6 µm
±0.3 µm
±0.3 mdeg
±0.3 mdeg
±0.6 mdeg
最大速度
14 mm/s
12 mm/s
5 mm/s
6°/s
6°/s
15°/s
其他特性
50N 载重能力，无移动电缆
用途
✓ 大批量
压电位移台
压电多轴对准器是紧凑的四轴到六轴对准系统，由压电促动器驱动。这类促动器具有 30 nm 线性分辨率，非常适合研发应用中对准定位的远程控制。这些多轴电动位移台可以进行 X、Y、Z、θx、θy 和 θz 不同组合的高分辨率 (< 30 nm) 调整。这些多轴电动位移台可以进行 X、Y、Z、θx、θy 和 θz 不同组合的高分辨率 (< 30 nm) 调整。

手动位移台
在机械结构方面，手动位移台是能够提供精确线性或旋转运动的简单、成本zui低的运动控制系统。它们最常用于学术研究或工业研发中心，小批量生产环境中偶尔也会使用。推荐的 ULTRAlign™ 系列还可以通过添加NSA12或TRA电动促动器来实现电动运行。
l ULTRAlign™ 光纤对准位移台: 提供精确、稳定和可靠的光纤对准。
l 466A 系列光纤对准位移台:提供精确、稳定和可靠的光纤对准。

ULTRAlign™ 线性平移
ULTRAlign™ 倾斜和旋转

X
Y
Z
ΘX
ΘY
ΘZ

行程范围
0, 6或
13 mm
13 mm
6或13 mm
±10°
±5°或
+2°/-1.5°
±5°或 +10°/-7°

其他特性
不锈钢
左手或右手配置
多种配件
用途
✓ 研发
✓ 有限自动化
466A 平移台
X
Y
Y

行程范围
2 mm
2 mm
2 mm

其他特性
挠性定位机制
左手或右手配置
多种配件
用途
✓ 研发
✓ 有限自动化
光功率计和探测器
光学探测器用于测量光束的功率。与功率计搭配使用时，它们能够监控光信号并探测zui高发射功率。

光纤探测器
818 系列：光电二极管探测器，采用具有zui低不确定性的可互换光纤适配器。
818 系列
InGaAs
Si

光谱范围
800-1650 nm
400-1100 nm

传感器尺寸
Ø3 mm
Ø11.3 mm
最小可测量功率
20 pW
最大可测量功率
10 mW
5 mW
上升时间
≤2 µs
校准不确定性
±1% 至 ±4% (无衰减器)
其他特性
可互换光纤适配器
用途
✓ 研发
✓ 有限自动化
✓ 小批量
✓ 大批量

	研发	有限自动化	小批量	大批量
对准精度和 zui小位移增量	1 微米	200 纳米	100纳米	50至100纳米
速度/生产周期	几分钟（通常取决于用户）	几秒或几分钟（通常取决于用户）	几秒钟	几秒钟
重复精度	不太关键（通常取决于用户）	几百纳米	几百纳米	<100 纳米
MTBF/可靠性	不太关键	几千小时	几千小时	>10,000小时

行程范围	50-350 mm	25-250 mm	25 mm	4.8 mm
zui小位移增量	1 nm	5 nm	10或100 nm	60 nm
定位精度	±0.2至±0.5 µm	±0.3至±3 µm	±0.4至±0.5 µm	±0.6 µm
重复定位精度	±0.03至±0.035 µm	±0.15 µm	±0.05至±0.06 µm	±0.1 µm
zui大速度	300 mm/s	500 mm/s	25 mm/s	5 mm/s
其他特性	无铁芯直线电机	高扭矩直线电机	小巧、紧凑、轻便	无障碍接触运动平台
用途	✓ 大批量	✓ 小批量 ✓ 大批量	✓ 研发 ✓ 有限自动化 ✓ 小批量 ✓ 大批量	✓ 研发 ✓ 有限自动化 ✓ 小批量 ✓ 大批量

HXP50 六足位移台	X	Y	Z	ΘX	ΘY	ΘZ
行程范围	±17 mm	±15 mm	±17 mm	±9°	±8.5°	±18°
最小位移增量	0.1 µm	0.1 µm	0.05 µm	0.05 mdeg	0.05 mdeg	0.1 mdeg
重复定位精度	±0.6 µm	±0.6 µm	±0.3 µm	±0.3 mdeg	±0.3 mdeg	±0.6 mdeg
最大速度	14 mm/s	12 mm/s	5 mm/s	6°/s	6°/s	15°/s
其他特性	50N 载重能力，无移动电缆
用途	✓ 大批量

	ULTRAlign™ 线性平移			ULTRAlign™ 倾斜和旋转
	X	Y	Z	ΘX	ΘY	ΘZ
行程范围	0, 6或 13 mm	13 mm	6或13 mm	±10°	±5°或 +2°/-1.5°	±5°或 +10°/-7°
其他特性	不锈钢左手或右手配置多种配件
用途	✓ 研发 ✓ 有限自动化

466A 平移台	X	Y	Y
行程范围	2 mm	2 mm	2 mm
其他特性	挠性定位机制左手或右手配置多种配件
用途	✓ 研发 ✓ 有限自动化

818 系列	InGaAs	Si
光谱范围	800-1650 nm	400-1100 nm
传感器尺寸	Ø3 mm	Ø11.3 mm
最小可测量功率	20 pW
最大可测量功率	10 mW	5 mW
上升时间	≤2 µs
校准不确定性	±1% 至 ±4% (无衰减器)
其他特性	可互换光纤适配器
用途	✓ 研发 ✓ 有限自动化 ✓ 小批量 ✓ 大批量