• 行业应用
引言
高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用,主要应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其他方面用量较少。
方案依据SJ/T 11637--2016电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则
方法原理
试样溶液经雾化系统雾化后形成气溶胶，由载气带入等离子体内，在高温和惰性氩气气氛中蒸发、汽化、解离和电离，转化成带正电荷的离子，经离子采集系统进入质谱仪，按离子的质荷比进行分离，各离子质谱峰的强度与样品中相应离子浓度成正比，可对各元素进行定性或定量分析。
仪器及试剂
美析ICP-MS6880电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS)
精密微量移液器及洁净的聚丙烯（PP）吸头
精密微量移液器量程: 10u L-100uL，100uL-1000uL。
全氟烷氧基树脂(PFA)瓶
实验用水符合GB/T 11446.1规定的EW-Ⅰ级电子级水。
超纯硝酸，金属离子含量不大于1ug/L。
一、样品中各元素含量范围：以最da限值计算，方便后续取样和曲线浓度范围预估。1、工业硝酸钾：铁、钠、锂、钙、
使用仪器：Dionex ICS290离子色谱仪，Dionex ICS 2000离子色谱仪，戴安IonPac
研究了离子色谱法检测食品添加剂三聚磷酸盐中杂质含量的分析方法用NaOH梯度淋洗,流速为1 8mL/min,成
本文采用TELEDYNE LEEMAN LABS Prodigy直流电弧光谱仪作为实验设备；仪器具有800m
本文参考美国药典USP对元素杂质的限量要求及USP对元素杂质的测定方法，利用电感耦合等离子体光谱法（ICP-
聚光科技ICP-5000电感耦合等离子体发射光谱仪是集中阶梯光栅的二维分光系统自激式全固态射频电源科研级高速
精对苯二甲酸，是一种重要的工业化学品主要用于生产聚酯树脂增塑剂和家禽添加剂等工业用精对苯二甲酸中，存在着杂质
摘要: 简介了基于ZX切割和脱氧法的HE50 型DID 氦离子化放电色谱仪的工作原理和工作 条件等参数武钢氧
随着仪器分析的客观性和重复性被实验室工作者普遍接受，当遇到有手工滴定类的分析方法时就会很自然地想办法用仪器分
沪公网安备 31011502008050号
