仪器网

欢迎您: 免费注册 仪器双拼网址:www.yiqi.com
首页-资讯-资料-产品-求购-招标-品牌-展会-行业应用-社区-供应商手机版
官方微信
中国仪器网• 行业应用
仪器网/ 行业应用/ 解决方案/ PFA吸收瓶在半导体行业特种气体纯化技术的应用

PFA吸收瓶在半导体行业特种气体纯化技术的应用

点击这里给我发消息
内容节点
概述
实验/设备条件
样品提取
实验/操作方法
实验结果/结论
仪器/耗材清单

半导体特气应用于晶圆制造的各个环节;

狭义的“电子气体”特指电子半导体行业用的特种气体,主要应用于前端晶圆制造中的化学气相沉积、光刻、刻蚀、掺杂等诸多环节;

电子特种气体的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性,对于半导体集成电路芯片的质量和性能具有重要意义。

由于半导体集成电路芯片更高性能、更高集成度发展,科技对电子特气的纯度提出了越来越高的要求,电子特气的净化愈加关键和重要。

电子气体品种多,纯化方法一般多采用吸附(常温、低温)、精馏(古间歇精馏)、催化等方法。

现已有分析法:吸收法(鼓泡法)

我们可以配套产品:PFA吸收瓶/PFA洗气瓶 *(各种样式尺寸均可定制加工)


相关产品
相关解决方案
其他解决方案
最新解决方案
在线留言
官方微信

仪器网微信服务号

扫码获取最新信息


仪器网官方订阅号

扫码获取最新信息

在线客服

咨询客服

在线客服
工作日:  9:00-18:00
联系客服 企业专属客服
电话客服:  400-822-6768
工作日:  9:00-18:00
订阅商机

仪采招微信公众号

采购信息一键获取海量商机轻松掌控