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超薄Au镀膜的测量

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实验/设备条件
样品提取
实验/操作方法
实验结果/结论
仪器/耗材清单
用SFT系列(微小部分荧光X射线膜厚仪)对0.05m以下的超薄Au镀层实行测定的时候,受检
测器的分辨率的制约,测定会有些困难
SEA5100系列采用了高分辨率的半导体检测器,S/N得到大幅改善,能够对几十埃的极薄的Au薄膜进
行测定 日立FT110A X射线镀层测厚仪
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