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美国PVD
美国PVD/PVD
[美洲 美国]
1995年,JamesA.Greer博士创立了PVD产品,开发和销售大面积脉冲激光沉积系统。他以前在Raytheon研究部工作,Greer博士开发了能够将PLD工艺规模扩大到200mm的原型设备。当时,格雷尔博士认为研发市场需要这样的工具,并让雷神公司为研发制造各种基于物理气相沉积(PVD)的工具。
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