射频线圈有铜、镀银、镀金射频线圈，大小尺寸严格配套，射频线圈是射频能量的发射器，腐蚀的射频线圈降低了射频能量的传送效率，由此会加大射频发生器的负荷，因为等离子体需维持一定水平的射频能量。清洗和更换新射频线圈，可改善能量传输效率，产生更强更均匀的等离子体，和更高强度的分析谱线，有利于取得良好的分析结果；同时，减少射频发生器大负荷状态下的使用时间。