扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。现在生产的油扩散泵抽速已达到 100000 L/s 以上，扩散喷射泵的抽速也达 40000 L/s，蒸汽流真空泵在真空应用领域中起着十分重要的作用。由于扩散泵结构简单、操作和维护方便、使用寿命长、对各种气体均有较好的抽气特性，因而它一直是获得高真空的主要抽气设备。