- 电子光学仪器简介
- 电子背散射衍射系统(EBSD)通常安装在扫描电镜上,是利用不同晶体结构或方位的电子背散射衍射花样来测量晶体或矿物取向的显微构造分析技术,它也称为背散射菊池衍射和电子背散射花样。目前,电子背散射衍射系统(EBSD)已经能够实现全自动采集微区取向信息,样品制备较简单,数据采集速度快(能达到约36万点/小时甚至更快),分辨率高(空间分辨率和角分辨率能分别达到0.1μm和0.5μm),为快速高效的定量统计研究材料的微观组织结构和织构奠定了基础,因此已成为材料研究中一种有效的分析手段。
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