- 扩散泵简介
- 扩散泵通常指油扩散泵，它利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒。油扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
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