- 高纯气特气分析仪简介
- 高纯气特气分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法,检测限可达ppb级(<50ppb),既可用于检测常见的He、H2,Ar,N2,CO2中的微量杂质,还可分析特种气体如HCL,SiH4,BCL3,N2O,CF4等。仪器配备高灵敏度的氦离子化检测器,实现多种气体高灵敏度检测。采用中心切割与反吹技术,配置具有吹扫保护气路的进样切换阀和进口氦气纯化器,去除微量杂质。高纯气特气分析仪应用领域极广,无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂,都需要使用高质量高纯度气体。
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