扫描电镜功能

　　扫描电镜是一种用于放大并观察物体表面结构的电子光学仪器。由镜筒、电子信号的收集和处理系统、电子信号的显示和记录系统、真空系统和电源系统等组成，具有放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等特点。

扫描电镜常见功能

　　1、观察纳米材料

　　尺寸在0.1nm-100nm范围内扫描电镜重要特点是具有很高的分辨率。

　　2、材料断口的分析

　　景深大，图象富立体感，焦深比透射电子显微镜大10倍，比光学显微镜大几百倍。扫描电镜显示出来的断口形貌从深层次，高景深的角度呈现材料断裂的本质，在教学、科研和生产中，有不可替代的作用。

　　3、直接观察原始表面

　　扫描电镜直接观察直径80mm，高35mm，或更长尺寸的试样，对试样的形状没有任何限制，粗糙表面也能观察，这便免除了制样的麻烦，而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度(背反射电子象)。

　　4、观察厚试样

　　其在观察厚试样时，能得到高的分辨率和Z真实的形貌。扫描电镜的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间，但在对厚块试样的观察进行比较时，因为在透射电子显微镜中还要采用复膜方法，而复膜的分辨率通常只能达到10nm，且观察的不是试样本身，因此，用扫描电镜观察厚块试样更有利。

　　5、观察各个区域的细节

　　其他方式显微镜的工作距离通常只有2-3cm，故实际上只许可试样在两度空间内运动，但在扫描电镜中则不同，可以让试样在三度空间内6个自由度运动，且可动范围大，这对观察不规则形状试样的各个区域带来极大方便。

　　6、从高到低倍的连续观察

　　扫描电镜的放大倍数范围很宽(从30到15万连续可调)，且一次聚焦好后即可从高倍到低倍、从低倍到高倍连续观察，不用重新聚焦，这对进行事故分析特别方便。

　　7、观察生物试样

　　因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。同其他方式的电子显微镜比较，因为观察时所用的电子探针电流小，电子探针的束斑尺寸小，能量小，而且不是固定一点照射试样

　　由于扫描电镜具有上述特点和功能，所以越来越多受到科研人员的重视，用途日益广泛。现在扫描电镜已广泛用于材料科学、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的FZ、灾害鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。

扫描电镜应用领域

　　1、扫描电镜在材料研究中的应用

　　扫描电镜材料的组织形貌观察、层表面形貌分析和深度检测、区化学成分分析和微组织及超微尺寸材料的研究。例如：扫描电镜在新型陶瓷材料显微分析中的应用。在陶瓷的制备过程中，进行显微结构的分析，原始材料及其制品的显微形貌、孔隙大小、晶界和团聚程度等将决定其Z后的性能。扫描电镜可以清楚地反映和记录这些微观特征，是观察分析样品微观结构方便、易行的有效方法，样品无需制备，只需直接放入样品室内即可放大观察;同时扫描电镜可以实现试样从低倍到高倍的定位分析，在样品室中的试样不仅可以沿三维空间移动，还能够根据观察需要进行空间转动，以利于使用者对感兴趣的部位进行连续、系统的观察分析。

　　2、扫描电镜在生物、医学领域应用

　　在生物医学领域可以利用高性能的电子显微镜观察细胞中各种正常的和病理的超微结构，诸如内质网、线粒体、高尔基体、溶酶体、细胞骨架系统等，对探明病因和ZL疾病有很大帮助。可以研究细胞的通讯与运输、分裂与分化、增殖与调控等生命活动的规律，电子显微镜也可结合各种制样技术观察病毒、细菌、支原体、生物大分子等的超微结构，是现代生物医学研究不可替代的工具。

　　3、扫描电镜与其他设备的组合以实现多种分析

　　目前扫描电镜的Z主要组合分析功能有：

　　①X射线显微分析系统：(即能谱仪，EDS)，主要用于元素的定性和定量分析，并可分析样品微区的化学成分等信息。

　　②电子背散射系统(即结晶学分析系统)，主要用于晶体和矿物的研究。随着现代技术的发展，其他一些扫描电镜组合分析功能也相继出现，例如显微热台和冷台系统，主要用于观察和分析材料在加热和冷冻过程中微观结构上的变化。

　　③拉伸台系统：主要用于观察和分析材料在受力过程中所发生的微观结构变化。扫描电镜与其他设备组合而具有的新型分析功能为新材料、新工艺的探索和研究起到重要作用。