氦质谱检漏仪操作步骤

　　氦质谱检漏仪是检漏领域里不可缺少的一种仪器，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在检漏行业中得到了广泛应用。

氦质谱检漏仪开机步骤

　　1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。

　　2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。

　　3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。

　　4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10^-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10^-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。

　　5、将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10^-3~1×10^-2Pa之间，对工件喷氦检漏。检漏完，关节流阀。

氦质谱检漏仪关机步骤

　　1、关冷规，关抽速阀。

　　2、将总电源转到“前级泵”。

　　3、等20分钟左右，扩散泵已冷，将总电源转到“关”。

氦质谱检漏仪检漏注意事项

　　1、工件要保持清洁、干燥。

　　2、对工件喷氦应按以下顺序进行：①从上往下。②从靠近测试口到远离测试口。

　　3、喷氦时应经常检查喷枪口是否有氦气喷出。

　　4、检完工件，必须将“节流阀”关闭，才能取工件。

　　5、对同一工件，如有两处以上漏点，应排除Zda的漏点后，再对其它地方检漏。

　　6、装工件时应使连接处密封好，不能有漏。

　　7、检漏间应通风良好，避免氦气浓度，但应避免强通风。

　　8、氦气属贵重气体，应避免泄漏浪费。

提高氦质谱检漏仪灵敏度方法

　　1、尽量开大节流阀。

　　2、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后，关闭工件与外接泵之间的阀门)。

　　3、将工件用塑料袋包扎，袋内再充入氦气，(但此法不能测出具体漏点)。

　　4、使用液氮，全开节流阀，采用不分流检漏，必要时可将抽速阀关小。

氦质谱检漏仪使用液氮步骤

　　1、加液氮：在冷规指针过1×10^-2Pa以后，加入液氮。

　　2、停机前必须将残余液氮排除后，才能关机：关机前先关“冷规”，关抽速阀，将总电源转到“前级泵”，将冷阱内残余液氮排出，再加入热水，等20分钟左右，扩散泵已冷，将总电源转到“关”。

　　3、加液氮时应注意防护，防止冻伤，加液氮每次不一定加满，使用中如不够，可再加。

　　4、第二天(或定期)将液氮冷阱取下，清洗冷阱内、外筒，再用吹风吹干，安装好后按正常程序开机。

氦质谱检漏仪调氦峰步骤

　　调氦峰在更换灯丝后及每天开始检漏前检查氦质谱检漏仪灵敏度达不到要求时进行。

　　1、调氦峰方法：

　　开漏孔开关，单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”，使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值，然后关漏孔开关，如表头指示值变小，说明氦质谱检漏仪接收到氦信号，即找到氦峰;如表头指示值不变，说明不是氦峰，则继续调“V”，直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。

　　2、调氦峰分辨不好：

　　①氦和重离子分辨差。

　　②氦和轻离子分辨差。

　　3、调氦峰信号小：

　　①灯丝没正对电离盒上的电子入口。

　　②灯丝离电离盒太远。

　　③分辨不好。

　　④灯丝质量差(受油蒸汽污染或本身发射能力低)。

氦质谱检漏仪换灯丝步骤

　　当冷规指针已过1×10^-2Pa，按灯丝启动，灯很亮，发射电流无指示，量离子源插头①②足不通，即为灯丝断，灯丝寿命一般正常使用为1至3个月。

　　1、停机换灯丝：可直接取下离子源更换灯丝，装好后按正常开机步骤进行。

　　2、不停机换灯丝：关冷规，关抽速阀，取离子源插头，取下离子源，更换灯丝后装上离子源，插离子源插头，此时“加速电压”示值不应有变化，“发射电流”示值应为零。如其中有一示值与上不符，则是离子源内有短路，应取下排除。将阀开关由“前置”转向“粗抽”(注意：阀开关在“粗抽”的时间不要超过五分钟)，全开节流阀，等真空抽上后，关闭节流阀，将“粗抽”转向“前置”，开抽速阀，开冷规，等真空过1×10^-2Pa后可启动灯丝，调氦峰。

　　氦质谱检漏仪灯丝安装时应先将离子源内的污渍用细砂纸打干净，清洗后再装。灯丝应正对电离盒电子入口，尽量靠近电离盒，但不能短路，三根引线间也不能相互短路。

氦质谱检漏仪日常维护

　　1、定期更换灯丝，清洗冷规。

　　2、定期更换机械泵油，适时对机械泵加油。

　　3、如加液氮，需定期清洗冷阱。

　　4、拆卸氦质谱检漏仪部件后，安装时要避免安装处出现泄漏。

　　5、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。