X射线能谱仪的发展
用于分析材料微区成分元素种类与含量，对扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用加以配合的仪器，称为x射线能谱仪。
在国外六十年代初期锉漂移硅核辐射探测器这一种新型核辐射探测器被发展了起来，在七十年代初由于其具有较高的探测效率以及较好的能量分辨率，在ⅹ射线能谱仪上受到广泛的应用。到目前为止，硅(锂)谱仪的能量分辨率已经达到110电子伏。这几十年以来，ⅹ射线能谱仪被装配于透射电子显微镜、电子探针仪以及扫描电子显微镜(包括大型、小型)等上已经变得越来越普遍。，其在冶金学、地质学、物理学、动物学、医药学、环保学等若千科学领域受到了非常广泛的应用。半导体材料、电子封装材料、催化剂、策合物、建材、肉瓷、生物材料等均为其所要分析的对象。其成为了七十年代zui有用途的科学研究仪器之一。
发展阶段：
它的发展经过了三个阶段
早期：
在1978年以前,X射线能谱仪还处于初级阶段,，因为受到技术条件的限制，仅能够进行定性或半定量分析。
中期:
1978年至1984年前后,随着探测器和计算机技术的发展,不但能够进行定性分析，而且还能够进行无标样定量分析，能谱仪在这一时期的应用变得越来越广泛。
近期:
由1984年到现在，X射线能谱仪的发展到了一个全新的阶段。定量分析能够使用较为复杂的方法。能够分析和处理来自能谱仪和电镜的图像。因为计算机的功能非常强大，加工数据，分析结果能够得到更好的显示。
应用：
鉴定化合物结构
对于精确测量内壳层电子结合能化学位移，化学键和电荷分布方面的信息可以由ⅹ射线光电子能谱法所提供。电子线峰位会随着化学结构的变化和化合物氧化状态的变化有规律的移动。基于此，能够对有机物、无机物的结构和化学组成加以分析。
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