X射线能谱仪的结构
用于分析材料微区成分元素种类与含量，对扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用加以配合的仪器，称为x射线能谱仪。
x射线能谱分析的基本原理
ⅹ射线能谱仪是扫描电镜的附件,它的原理是通过电子光学系统中的两级电磁透镜将电子枪发射的髙能电子聚焦成很细的电子束来对样品室中的样品进行激发，从而使阴极荧光、X射线、透射电子、吸收电子、俄歇电子、二次电子以及背散射电子等多种信息(电子束与样品的相互作用所产生的各种信息)产生。如果Si(Ii)探测器接收X射线光子以后将电脉冲讯号给出，因为ⅹ射线光子能量差异(对某一元素能量为一不变量)，通过放大整形后往多道脉冲分析器中送入，通过显象管就能够对根据特征ⅹ射线能量展开的图谱进行观察。一定元素由一定能量的图谱加以表示样品中元素的含量(量子的数目)由图谱上峰的高低反映。此即为ⅹ射线能谱仪的基本原理。
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X射线能谱仪的结构
多道脉冲分析器、前置放大器以及半导体探测器共同组成了能谱仪。元素的分析是利用X射线光子的能量来进行的。锂漂移硅Si(Ii)探测器接收X射线光子以后将电脉冲信号给出。ⅹ射线光子的能量发生变化，该信号的幅度也会随之而发生改变。脉冲信号再经放大器放大整形后,往多道脉冲高度分析器送入,然后按照ⅹ射线光子的能量和强度来将样品的种类和高度区分出来。
路径
Si（Li）探测器→放大器→多道脉冲高度分析→计算机系统
应用
固体表面分析
zui外层的1至10个原子层，被称为固体表面，其厚度为0.1-1纳米左右，人们早已知晓，有一个与团体内部的组成和性质不同的相存在于固体表面、表面的元素组成和化学组成,表面原子的电子云分布和能级结构的测定以及原子价态,表面能态分布的分析等也包含于表面研究。
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