X射线能谱仪的评价指标
用于分析材料微区成分元素种类与含量，对扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用加以配合的仪器，称为x射线能谱仪。
评价指标
灵敏度和能量分辨率为评价一台电子能谱仪的主要指标。对于这两个主要指标的提高，科学家们正在不断努力。
样品,激发源,激发面积,能量分析器,入口或出口狭缝,电子探测器,放大器等多种因素会对仪器的灵敏度产生影响。为了对仪器的灵敏度进行考察
仪器的灵敏度与多种因素有关,即:样品,激发源,激发面积,能量分析器,入口或出口狭缝,电子探测器,放大器等因素有关。为了考察仪器的灵敏度,仪器的整体灵敏度通常采用Ag3d5/2来进行表示。x射线的线宽、仪器的展宽、样品基体以及样品中被激发的能级的线宽均与能量分辨有所冠梁，zui终谱的宽度应当是多种因素卷积的综合结果。一台电子能谱仪的灵敏度与能量分辨率是相互牵制的,也就是说如果要对仪器灵敏度加以提高就需对仪器的分辨率加以牺牲。对于双阳极的Ag3d5/2的zui高计数率，比7Mcps@leV要大。1Mcp@0.6eV为AlK α单色器zui高Ag3d5/2的zui高计数率。单色化ⅹPS的zui佳能量分辨率能够达到0.5ev,相比于传统的双阳极XPS要高。为了对仪器分荷电中和系统进行考察，一般对PET材料的羰基(O-C=O)峰的强度和半高宽(FWHM),进行测定，到目前为止，半高宽能够达到0.8eV@6 Okcps。对一台电子能谱仪的质量进行考察为一项非常复杂的工作,可靠性、精度、离子刻蚀、稳定性、功能扩展性、荷电中和、数据系统、制样、以及仪器的操作使用和维护(如真空维护)均需要考察。
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