俄歇电子能谱点光学系统
俄歇电子能谱，英文名Auger electron spectroscopy，AES是它的简称，是一种材料科学与表面科学的分析技术。俄歇电子能谱之所以如此命名是因为该技术主要通过俄歇效应进行分析。其他外层电子吸收受激发的原子的外层电子跳到低能阶所放出的能量从而使其从原子逃脱离开，这一连串事件叫做俄歇效应，俄歇电子则为逃脱出来的电子。
电子光学系统
偏转系统（偏转线圈）、电子束聚焦（电磁透镜）以及电子激发源（热阴极电子枪）为电子光学系统的主要组件。束直径、束流强度以及入射电子束能量为电子光学系统主要的三个指标。当中，入射电子束的zui小束斑直径基本上决定了AES分析的zui小区域。束流强度决定了探测灵敏度。这两个指标一般会有些矛盾，因为束流会随着为束径变小而显著下降，所以通常折中是必要的。
俄歇表面分析
俄歇电子在固体中运行，频繁的非弹性散射也同样要经历，仅仅只有表面几层原子所产生的俄歇电子可以从固体表面逸出。这些电子的能量基本上在10～500电子伏。所以固体的表面层是俄歇电子能谱wei一所考察的对象。俄歇电子能谱的辐射源一般使用电子束，电子束能够聚焦、扫描，所以俄歇电子能谱能够作表面微区分析，并且俄歇元素像能够直接从荧光屏上获得。其为近代考察固体表面的强有力工具，在各种材料分析以及催化、吸附、腐蚀、磨损等方面的研究得到了非常广泛的运用。
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