俄歇电子能谱电子能量分析器
俄歇电子能谱，英文名Auger electron spectroscopy，AES是它的简称，是一种材料科学与表面科学的分析技术。俄歇电子能谱之所以如此命名是因为该技术主要通过俄歇效应进行分析。其他外层电子吸收受激发的原子的外层电子跳到低能阶所放出的能量从而使其从原子逃脱离开，这一连串事件叫做俄歇效应，俄歇电子则为逃脱出来的电子。
电子能量分析器
电子能量分析器为AES的心脏，对不同的动能的电子收集并分开为其的主要作用。因为俄歇电子具有非常低的能量，所以仪器所需的灵敏度必须采用特殊的装置才能达到。一种叫作筒镜分析器的装置被大量的俄歇谱仪所使用。
两个同心的圆筒为分析器的主体，内筒以及样品同时接地，将一个负的偏转电压往外筒上施加，有圆环状的电子入口和出口在内筒上开着，既能够在镜筒分析器外放激发电子枪，也能够在镜筒分析器的内腔中放激发电子枪。品上发射的具有一定能量的电子由入口位置往两圆筒夹层进入，由于有偏转电压加在外筒上，zui后使得电子由出口往检测器中进入。如果对外筒上的偏转电压进行的不断的改变，就使得不同能量的俄歇电子能够在检测器上依次接收到。从能量分析器输出的电子分别从电子倍增器、前置放大器经过以后再去往脉冲计数器，zui后使得俄歇谱俄歇电子数目N随电子能量E的分布曲线在X-Y记录仪或者荧光屏显示。
如果结合筒镜分析器与电子束扫描电路，能够使得俄歇显微镜形成。
电子枪有着类似于扫描电镜的工作方式，扫描系统控制能够使得同步扫描在样品上和显像管荧光屏上，电子倍增器对筒镜分析器探测到的俄歇电子信号进行放大以后用来调制荧光屏光栅，这样就能够使得俄歇电子像获得。
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