电感耦合等离子发射光谱仪研究进展

等离子体（Plasma）在近代物理学中是一个很普通的概念，是一种在一定程度上被电离（电离度大于0.1%）的气体，其中电子和阳离子的浓度处于平衡状态，宏观上呈电中性的物质。电感耦合等离子发射光谱仪，是指以电感耦合等离子体作为激发光源，根据处于激发态的待测元素原子回到基态时发射的特征谱线对待测元素进行分析的仪器。待测元素原子的能级结构不同，因此发射谱线的特征不同，据此可对样品进行定性分析；而待测元素原子的浓度不同，因此发射强度不同，可实现元素的定量测定。

研究进展

在20世纪60年代出现了ICP-AES法。在20世纪60年代初，等离子炬管装置被Reed设计了出来，其的结构为三层同心石英管，将冷却气由切线方向通入，使在大气压下和火焰形状类似的高频无极放电装置获得。

在此以后，di一电感耦合等离子体（ICP）在原子光谱分析上的应用报告被Greefield和Wendt等发表。因为电感耦合等离子体光谱的性能相当的优越以及出现了商品仪器，其发展越来越快。

1975年，ICP被国际纯粹和应用化学联合会（IUPAC）推荐作为电感耦合等离子体专用术语之后，仪器装置以及ICP-AES分析技术等发展越来越全面，和以中阶梯光栅双色散系统与面阵式固体检测器相结合的“全谱型”以高刻线衍射光栅色散系统的同时型、顺序型等ICP-AES仪器出现了，从而将原子发射光谱分析仪器的发展推向了一个全新的时期。ICP-AES分析技术作为元素的分析方法，变得越来越有效，与此同时，ICP-AES仪器也处于不断改进并逐步向高端阶段发展。