X射线定向仪的稳定度测定和技术指标

X射线定向仪是对单晶体的各晶面在空间相互排列角度进行精密测定的一种光学检测仪器。

Ⅹ射线定向仪稳定度的测定意义

Ⅹ射线定向仪用于如SO2、Si、Ge等单晶体加工生产线上,每次连续使用的时间在4-8h之间，所以对于X射线定向仪连续工作的稳定度来说有着非常高的要求，被测晶面角偏差会直接受到它的波动的影响，其与晶体器件的放大倍数和振荡率等重要指标有着较为直接的关系，因此对于我国的电子事业的发展至关重要。

Ⅹ射线定向仪稳定度的测定方法

1、调整Ⅹ射线定向仪到正常工作状态，将4′的狭缝装上（双晶体定向仪不需要加狭缝）。在样品架上安装二氧化硅标准晶体，将管电流1毫安，管电压20千伏的Ⅹ射线辐射条件选定。对样品架转角进行调整，使微安表指示值zui大，之后对计数率仪进行调整，使得微安表指示值不比满刻度的95%小，起始值是满刻度的10%。设置角等于13°20′（铜靶X射线管，二氧化硅晶面的衍射角）。

2、shou次将微安表指示数值记录下，之后每6min对微安表的指示数值进行记录，持续进行8个小时的测定。

技术指标

1、样品旋转角度：-10 - +50度

2、计数管：盖革计数管,工作电压500-1100伏特

3、时间常数：分0.1,0.4,3秒三档

4、保护：高压连锁保护,温度保护

5、狭缝：4′,5′,6′

6、外形尺寸：1140毫米×650毫米×1030毫米

7、重量：300千克　

8、射线管：铜靶,阳极接地,强迫风冷

9、管电压：30千伏峰值,全压合闸

10、管电流：0-5毫安,连续可调