匀胶机环境控制和技术参数

将各类胶液滴注于高速旋转的基片上，滴在基片上的胶液通过离心力在基片上均匀地涂覆的设备，被叫做匀胶机。溶胶的黏度以及匀胶机的转速对于膜的厚度起到决定性作用。

匀胶机境控制

能够用于涂覆的基底材料有许多，然而如ITO玻璃的一英寸见方的玻璃基底为应用的zui多的基底，其在实验室用的载玻片甩胶前取得。胶液应当通过过滤来将杂质去除，过滤器的规格一般使用0.45微米。一般需要注意在超净间(10级或100级)中进行旋涂，在通风橱里进行大部分的旋涂，在旋转托盘上放置载玻片，胶液利用注射器滴管滴下。通常包括两个转速范围。di一个阶段，转速在500-1000RPM范围内旋转5-10秒钟，从而使得胶液被平铺开，而第二阶段的速度变化主要用来控制液厚度，1500RPM-6000RPM为平常的转速范围，旋转时长由几秒钟到几分钟,这样就能够使得几百个纳米到数十个微米之间的均匀薄膜获得。

一旦旋涂结束以后，载玻片一般往一个制模加热板上迅速的放置（通常能够加热到大约400摄氏度），在几秒钟或几分钟以内使溶剂的蒸发以及薄膜的固化得以实现。甚至需要烘烤载玻片几个小时或者一个晚上,在烤箱或真空炉在温度高到能够将余下的溶剂充分蒸发掉，尽管无需往培养皿中放入，然而可以利用一两个烘烤步骤来对薄膜进行保护从而使其远离灰尘,以及溶剂冷却对薄膜平滑度和质量的影响,半开着烘烤的盖板，为顺利蒸发掉溶剂提供方便。

匀胶机技术参数

电机功率:40W

LED数字显示

转速稳定度:±1%

胶的均匀性:±3%

真空泵抽气速率:60升/分

仪器尺寸:210×220×160mm

调速范围:

I档调速范围:500-2000转/分

II档调速范围:1300-8000转/分

匀胶时间:

I档匀胶时间:2-18秒