离子溅射仪基本组成和作用

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

离子溅射仪基本组成和作用:

1、手动开关：将该开关按下，对溅射电流强弱进行测试，在定时器工作期间起不到作用。

2、启动开关：对该开关进行按触，对定时器及加载溅射电压进行启动。若在溅射期间，发生过流保护，在溅射电压再次加载时，需要对该开关再次按触。

3、微调进气阀门：对按钮进行旋转，对样品真空室中的真空度进行控制，对溅射电流进行调整，能够将多种气体通入。

4、限流指示灯：该灯亮起，提示当前如果加载溅射电压则过载。

5、电流指示表：对当前电离电流值进行显示。

6、对当前设备的真空度进行显示。

7、上盖:密闭样品真空室

8、上部电极:安装镀膜材料的装置(负极)

9、样品台:固定被镀样品的装置(阳极)

10、定时选择开关：对该开关进行旋转，对镀膜时间进行设置。值得注意的是定时器分别有停止、暂停和运行三种状态。

11、电源开关：对该开关进行搬动，对设备工作状态进行确定。