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离子溅射仪的工作原理、组成和步骤

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体。


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离子溅射仪的工作原理和组成:

离子溅射仪的工作原理是在一个较低真空的腔体内,将超过几百伏特的电压加载在负电极和正电极之间,使得辉光放电产生,使得正离子在电场的作用下对靶电极(负极)的轰击加速,造成靶中原子溅射,使得一层簿膜在样品上形成。10电子伏特为溅射原子的平均能量,因此会有非常大的热量产生,为了使样品不被灼伤,需要对被镀材料特性以及是否需要采取特殊的防护方法格外注意。


离子溅射仪的一般操作步骤:

1、对样品进行放置,将上盖合上。


2、对溅射时间进行选择。


3、将电源开关打开,对真空指示表进行观察,当真空度达到4×-100托时,能够对微调进气阀进行调整使得真空度降低到适合的值。


4、对启动开关进行触按,定时器发出的计时音能够听到,观察到有辉光从样品室中发出。


5、对电流表指示进行观察。按照需要对微调进气阀门进行调整,对电离电流进行提高或降低。


6、计时归零,结束提示发出。


2007-01-12 浏览次数:37次
本文来源:https://www.yiqi.com/daogou/detail_4787.html
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