离子溅射仪功能

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

离子溅射仪功能：

一个更加广泛的选择由于全自动直流离子溅射仪在制样过程中被提供给了扫描电镜用户，从而为扫描电子显微镜所需的涂层要求的适用提供了支持。在结构设计及人机界面方面简单智能，对人性更加的注重。一个低成本的解决方案由于离子溅射仪对SEM样品常规适用黄金溅射被提供了，与此同时能够利用对金、铂、铱、银、铜等不同的靶材的更换来使得更细颗粒的涂层达到。与此同时，利用智能的人机界面对仪器的控制更加的方便、简单以及精确，与此同时，能够对镀层厚度进行估算，对真空实时显，溅射电流对溅射时间进行设定，对靶材的剩余情况进行计算。

离子溅射仪在扫描电镜（SEM）的样品喷金方便为专用的仪器，样品的导电性及导热性可以非常有效的提供，使恒沉积速率得到确保，使等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤减少，使扫描电镜观测结果得到了较为显著的提高。