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离子溅射仪常见故障和技术参数

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体。


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离子溅射仪常见故障

故障现象:使用一段时间后,溅射电流变小

解决方法:对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查。前两者对靶材进行更换,后者被油蒸汽污染,通过无水乙醇进行清洁,等到干了以后才能够抽真空。


故障现象:在使用一段时间以后,有着过低的真空。

解决方法:对溅射室中或管道内是否有油进行检查,能够使用汽油进行清洗。


故障现象:溅射电流不稳定忽高忽低

解决方法:阴极罩与靶的固定环有着过近的距离,将阴极罩逆时针旋转,对间距进行调整。


故障现象:有着过低的真空

解决方法:将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧。


离子溅射仪技术参数:

1、真空测量:1×10的5次方到-1.0×0.1帕,数字显示,单片机进行控制,数字进行显示,真空保护锁设置为其所具有。


2、控制系统:单片机控制,使得真空自动测量、显示、定时器dao计时功能完成以及使得镀膜程序自动完成。


3、真空泵:每秒2升二级旋片式直联机械泵,极限真空度6×0.1帕。


4、充气阀:金属微调针型阀,保护气体:推荐99.9%纯度氩气


5、外形尺寸:长354毫米 ×高216毫米 ×深340毫米


6、电源:AC 220伏特 50赫兹


7、真空腔:¢150×12 硼酸硅质玻璃


8、溅射靶尺寸:¢55×0.3


9、基台: ¢50 6-8个样品


10、极间距调节范围:20-40毫米


11、溅射电压: -2000伏-0 DC连续可调

溅射电流0-30 毫安


12、定时器:0-99分数字显示


2007-01-14 浏览次数:1861次
本文来源:https://www.yiqi.com/daogou/detail_4797.html
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