气相沉积技术类型

化学气相沉积为一种化工技术，在衬底表面上含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质进行化学反应使得薄膜生成为该技术的主要方法。近几十年化学气相淀积这种对无机材料进行制备的新技术发展了起来。化学气相淀积法已经在各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料的淀积，新晶体的研制以及物质的提纯方便得到了非常广泛地应用。这些材料既能够是碳化物、氮化物、硫化物、氧化物也能够为III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，并且能够利用气相掺杂的淀积过程来对它们的物理功能进行精确地控制。化学气相淀积已经变成无机合成化学的一个新领域。

气相沉积技术类型

反应器为化学气相沉积装置zui为主要的元件。我们能够将化学气相沉积技术根据反应器结构上的差异分成开管气流法以及封管气流法两种类型。

1、开管气流法

可以随时补充反应气体混合物为该种制备方法的特点。也能够及时将废气排出反应装置。通过加热方法来区分，开管气流法应当包括热壁以及冷壁两种。整个沉积室壁会因为前者的加热而均会变热，因此沉积也同样会发生在管壁上。后者仅仅会加热机体自身，上述缺点也就没有。感应加热、通电加热以及红外加热等等通常会被冷壁式加热所使用。

2、封管气流法

该种方式为在反应器的两边放置一定量的反应物质和集体。抽真空反应器，之后再将部分输运气体往其中注入，之后再次密封，然后再对反应器两端的温度进行控制使其具有一定的差别，

封管气流法优点：

（1）外部污染可以有效地加以防止。

（2）不需要持续抽气就可以使得内部保持真空。

封管气流法缺点：

（1）材料有着较慢的产生速度。

（2）掌握管中的压力较为困难。