气相沉积技术相关争论

气相沉积技术是对气相中发生的物理、化学过程加以利用，对工件表面成分进行改变，使得具有特殊性能(例如超硬耐磨层或具有特殊的光学、电学性能)的金属或化合物涂层在表面形成的新技术。气相沉积一般是将厚度大概为0.5-10微米的一层过渡族元素(钛、钒、铬、锆、钼、钽、铌及铪)与碳、氮、氧和硼的化合物覆盖于工件表面。气相沉积根据过程的本质包括物理气相沉积以及化学气相沉积两大类。气相沉积为强化模具表面的新技术之一，已经在各类模具的表面硬化处理方面得到了非常广泛地应用。TiC，TiN为主要应用的沉积层。

气相沉积技术相关争论

许多金属和金属合金是利用化学气相沉积还是物理气相沉积使得zui好的沉积效果达到，对于许多金属和金属合金来说，这种争论相当的有趣。虽然相较于物理气相沉积，化学气相沉积的台阶覆盖特性更加的好，然而诸如铜的子晶层和钽氮扩散层薄膜均是利用物理气相沉积来进行沉积的，由于现有的大量装置均是以物理气相沉积为基础的，对于物理气相沉积，工程技术人员的熟练程度相当的高，既然台阶覆盖特性变得越来越重要(特别是在通孔边墙覆盖)，化学气相沉积方法将会变得必不可少。产生低k值介质材料方面也存在相似的争论：采用旋涂工艺还是采用化学气相沉积方好。

晶圆间的气体是如何流动的在化学气相沉积中是决定晶圆间薄膜均匀性的重要参数之一。