扩散泵原理

到目前为止，获得高真空的zui为主要以及zui为普遍的工具之一，即为扩散泵，一般指的是油扩散泵。扩散泵为一种次级泵，其需要机械泵来被用作前级泵。油扩散泵为一种真空泵，其通过低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气，1-4e到1-5e帕为此种泵的极限真空，1-e到1-4e为工作压力范围。几十至十几万升/秒为抽速范围。油扩散泵为高真空获取的主要设备，其在真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中得到了非常广泛地应用。

扩散泵原理

泵的真空性能直接受到泵油的蒸气压的影响。然而油扩散泵所使用的任何泵油均为蒸气压不同的多组分的混合物。所以如果想要使得油扩散泵的抽气和真空性能有所提高，那么泵在工作中需要分馏和净化泵油。不往高真空工作喷嘴中进入高蒸气压组分的油为分馏的主要目的。在工作过程中前级泵持续地抽除高蒸气压组分的油，使油慢慢地变得纯净为净化目的。由于泵油各组分的蒸发温度不一样，使得它们分别蒸发在不同的锅炉面积上为泵油分馏的主要原理。当在有保温罩部分的泵壁流到工作后冷凝回流的泵油时，通过锅底环形加热器进行加热,轻馏分的油达到蒸发温度就在外层蒸发并且往低真空工作喷嘴进入。没有可以蒸发的某些轻馏分油也由于和其他馏分油相比较占有比较小的比重而在油面上浮着。