扩散泵工具介绍

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵工具介绍

自从1913年，扩散泵被Gaede发明出来到现在为止已经经过了101年。在这段岁月里技术上取得的进步非常的大。如今生产的油扩散泵抽速已经达到超过每秒十万升。扩散喷射泵的抽速也达到每秒四万升。在真空应用领域中蒸汽流真空泵所起到的作用至关重要。虽然在高真空领域也有非常多其他种类的抽气方式能够工作。然而因为扩散泵有着较为简单的结构，能够相当方便地进行操作和维护。较长的使用寿命，对于各种气体而言，抽气特性都相当好。所以获得高真空的主要抽气设备一直都有它。按照前苏联文献报道：这种泵shou先由俄罗斯学者巴洛维克在1912年在彼得堡物理研究所提出。并且这种泵在1913年被俄罗斯学者巴甫洛夫用来进行气体分子碰撞方面的研究工作。通过几代人持续的研究，改进以及创新成就了如今的现代扩散泵。然而盖得对扩散泵的贡献我们不能够忘掉。