扩散泵分类

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。下面就让小编带您了解一下扩散泵的国内以及国外的分类标准。

扩散泵分类

国外分类标准

外国公司的油扩散泵通过按照用途、配套的辅助部件（如挡板）的差异来对系列进行划分，DIP系列是Leybold公司的，DIF系列和DIFC系列是Pfeiffer公司的。Edwards公司根据用途包括科研、工来和彩管行业用泵，有Standard DIFFSTAIC、Cryo-cooled DIFFSTAIC、HT和EO系列。小口径泵和大口径泵、通用型和专用型泵以及科研用泵和工业用泵通常被各公司区别开来。一些公司将泵、阱、阀、冷却和电控集合为一体，用户的使用方便了。

国内分类标准

油扩散泵在新国家推荐标准下包括KT系列（凸腔泵）以及K系列（直腔泵）两个系列，泵的外形差异为对这两个系列进行区别的主要依据。实际上在市场现存的产品除了上述两类以外，KC系列（宽区域泵）、KTD系列（凸腔低返油泵）以及KA系列（直腔矮泵）也包括其中。根据帽、喷嘴数量能够分成5级、4级、3级等形式。