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超声扫描显微镜为一种对传播媒介进行利用的无损检测设备。在工作中元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷通过反射或者透射等扫描方式来进行检查。可以将机械波和微小样品的弹性介质之间的相互作用精确地反应出来,可以对物体特性的差异进行利用为其特点。例如:被测物体没有必要透光;对于生物组织切片或样品没有必要染色,能够及时地进行观察;对于大规模集成电路,没有必要对样品表面进行损坏就能够进行内层的直接观察。一种新工具被提供来增进对物质性质的了解。
超声扫描显微镜原理
压电换能器在脉冲回波的性质的激励作用下,将多束电信号发出,从耦合液介质经过往被测样品传递,在从不同介质经过时会有折射、反射等现象发生。在从阻抗不同的材料通过的时候会有波形相位、能量上的变化等现象发生。通过一系列数据采集计算使得成灰度值图片形成,能够用来对样品内部状况进行分析。
作为无损检测分析中的一种,其能够使在对物料电气能进行破坏以及使结构完整性得以保持的前提下来对物料的检测得以实现。在研发、可靠性质量保证、质量控制、元器件二次筛选、可靠性分析、破坏性物理分析、失效分析以及物料检测等领域得到了十分广泛地应用。
超声扫描显微镜英文名称来源
Scanning Acoustic Microscope为超声波扫描显微镜英文名称,SAM为其简称,因为C模式为其主要工作模式。所以也简称成C-SAM。。如今在做失效分析的实验室里,此设备直接被叫做C-SAM,就类似于X射线透射机被叫做X-Ray。
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