白光干涉测厚仪百科

Filmetrics F54 微区自动测量系统能以一个电动R-Theta平台自动移动到选定的测量点以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度, 样品直径达450毫米，可选择数十种内建之同心圆,矩形,或线性图案模式,或自行建立无数量限制之测量点.只需具备基本电脑技能，就可在数分钟内自行建立配方。

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Filmetrics F50 全自动Mapping薄膜厚度测量系统 依靠光谱测量系统，可以简单且快速地获得直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。Filmetrics F50 全自动Mapping薄膜厚度测量系统 配置精度高使用寿命长的移动平台，以求能够做成千上万次测量。

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