电子探针

‌电子探针（Electron Probe Micro-Analyzer，EPMA）‌是一种结合了电子光学和X射线光谱学原理的高效率分析仪器，主要用于显微分析和成分分析。它通过细聚焦的高能电子束轰击样品表面，激发出样品中元素的特征X射线，通过对这些X射线的波长和强度进行检测，从而确定样品中元素的种类和含量‌。