辉光放电光谱仪的结构和原理

表面技术随着工业技术的发展已经在工业生产的各个领域得到了非常广泛的应用。从客观上而言，相应的表面检测手段也需越来越高的要求，尤其是多层工艺为表面加工过程所采用或者在深度方向成分有浓度梯度存在时，就好对检测工作有比较大的麻烦。在生产实践中，许多企业仅可以按照经验估计或者理论计算来控制生产。如果要对生产或科研有较好的理论指导,就必须逐层分析表面。辉光放电光谱仪就可以将这一问题比较wan美地进行解决。

结构

辉光放电光源，分光系统以及计算机控制系统为辉光放电光谱仪的主要组成构件。

工作原理

样品本身被当作阴极在光源上放置，光源内抽直空到大约10帕，将氩气充入，并且使压力保持在500-1500帕之间。阳极接地，将500-1500V负高压加在阴极（样品）上，击穿了氩气，使得稳定的等离子体形成。在负高压的作用下，遭受电场加速的高能氩离子对样品表面进行轰击，使得足够克服晶格束缚的能量被处在表面的样品原子获得。通过原子的形式从样品的表面溅射出，往等离子体中进入。

因为等离子体内粒子频繁碰撞，一定的能量被原子的外层电子所吸收，跃迁到更高的能级,原子处在激发态。原子从激发态向基态返回，一定的能量被释放出，一定波长的光,不同元素的波长(即特征波长)各有差异。不同波长的光往分光系统进入通过全息光栅分光以后，通过光电倍增管进行检测，通过计算机对各单色光光强进行信号处理,使得各元素的强度得以获得。

各元素的浓度通过计算机利用已经建立的各元素的标准曲线(浓度和强度的关系)计算出。