辉光放电光谱仪的操作规程

辉光放电光谱技术是一种分析技术，其能够直接对固体样品进行分析。材料的基板分析为其Z早的应用领域。这些年以来，辉光深度剖面分析技术在材料表面分析领域得到了广泛地应用，人们对此技术也越来越看重。辉光放电光谱仪相比于俄歇(AES)、二次离子质谱(SIMS)等其他的表面分析仪器，尽管原子水平的表层分析不能进行，然而其在表层和深度部面分析方面具有非常显著的优势，其又较为便宜的价格，能够非常迅速地分析和十分方便地定量。在国外的工厂、实验室及研究ZX得到了非常广泛的应用。新材料的研究开发和产品的质量控制为该技术的主要用途。

操作规程

辉光放电光谱仪通常要求长期开机从而使机器的稳定性得以保持。为了使系统中的氧气和水的含量足够低得到确保，光路系统(多色仪和单色仪)需要一直通过一定流量的高纯氮气进行充洗。

氩气作为辉光放电光谱仪的工作气体，在工作开始时，必须首先将氩气打开，再讲压缩空气(或氮气)打开将动力提供给气缸等活动部件。

安装样品,若表面不够平整或样品安装不当造成漏气,将仪器样品仓门关闭以后，会自动弹出样品，需要对样品进行重新处理或者更换。

将QUANTUM软件打开，方法选择合适，所需的大部分参数包含于方法中，所以检测数据准确的关键之处是选择正确的方法。

对测定参数设定，要视样品来设定某些参数，在基体分析时可以对测定次数,预扫时间等进行设定。在镀层分析时能够对图形分辨率（也就是每秒记录次数）进行设定。

点击分析，仪器即开始分析样品。