涡流测厚仪百科

KLA R54 四探针电阻率测量仪是KLA的电阻率测量产品。从半导体制造到实现可穿戴技术所需的柔性电子产品，薄膜电阻监控对于任何使用导电薄膜的行业都相当重要。KLA R54 四探针电阻率测量仪在功能上针对金属薄膜均匀性测绘、离子注入表征和退火特性、薄膜厚度和电阻率测量以及非接触式薄膜厚度测量进行了优化。

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该仪器传感器阵列由16(12)个独立传感器组成，每个传感器都可以测得一条套管壁厚曲线，即可测量内层管厚度及损伤情况，还可测量外层套管的厚度。

美国Extech CG204型电磁/电涡流测厚仪，双技术提供自动识别铁基和非铁基。