我国首款MEMS磁通门传感器工程化产品落地，助力高端仪器自主可控

中国电子科技集团公司第九研究所（下称“中国电科九所”，又名西南应用磁学研究所SIAM）正式官宣一项重大技术突破：该所成功研制出我国首 款MEMS磁通门传感器工程化产品。这一成果不仅成功填补国内MEMS磁通门传感器工程化领域的空白，更打破了国外企业在高端弱磁场传感器领域的长期垄断格局，为我国高端仪器设备自主可控发展注入新活力，成为我国高性能弱磁场传感领域极具标志性的里程碑。

此次中国电科九所研制的MEMS磁通门传感器，并非实验室中的原型样机，而是真正具备落地能力、可实现规模化量产的工程化产品。据了解，项目启动之初，科研团队便精准聚焦微型化集成、薄膜磁心制备、MEMS制造工艺优化、性能测试校准等行业核心难点，依托研究所自有磁性微纳工艺平台，整合国内行业优质资源，全力投入技术攻坚。经过数十轮反复试验与工艺优化，团队不断突破现有技术边界，逐一攻克薄膜磁心微米级定位、高可靠性超高厚度铜柱制备等关键技术瓶颈，最终实现了传感器性能的跨越式提升，达成工程化量产的核心目标。

相较于传统高精度矢量磁传感器，这款国产MEMS磁通门传感器的优势尤为突出：体积较传统产品缩小50%以上，成功破解传统产品体积庞大、功耗偏高、集成度不足的行业痛点，同时具备低噪声、高可靠性的核心特质，技术指标达到国际先进水平。更为关键的是，该产品实现了高性能磁心的批量生产，达成“产学研用”一体化融合落地，可直接匹配各类实际应用场景，具备规模化推广的基础条件，这也标志着我国高端磁传感器国产替代之路迈出了坚实且关键的一步。

站在行业发展的角度而言，这一技术突破的价值远不止单一产品的问世。首先，它首次打破国外企业在高端MEMS磁通门传感器领域的技术垄断，将有效降低国内仪器设备企业的采购成本，缓解供应链安全风险，为我国高端仪器设备行业摆脱对外技术依赖提供核心支撑；其次，将有效带动国内磁性材料、MEMS制造、精密加工等上下游产业的协同升级，助力构建从核心材料、关键工艺到终端器件、场景应用的完整产业链生态，参考蚌埠中国传感谷的产业集群发展模式，为行业整体高质量发展赋能；此外，还将显著提升我国在全 球高精度磁传感领域的话语权，助力我国从磁传感产业大国向技术强国转型，精准呼应我国高端制造业自主可控的发展战略。

作为一款高精度弱磁场传感器，该产品可精准感应外界微弱的直流及低频磁场，应用场景广泛覆盖弱磁探测、姿态测量与导航、电流检测等多个领域。随着该产品的规模化推广以及核心技术的不断突破，将进一步推动我国高端磁传感器核心材料、工艺、器件及应用生态系统的完善，为我国仪器设备行业高质量发展注入持续动力。