“芯”升级，新“净”界 | 安捷伦光谱 PFA 耗材助力半导体痕量分析

随着人工智能、高性能计算、先进封装和新能源汽车产业快速发展，全 球半导体产业正在迎来新一轮增长浪潮。据行业预测，全 球半导体市场规模将在未来几年持续快速增长。晶圆厂对超高纯化学品、电子级材料以及超痕量元素检测的需求也在持续提升。对于 ICP-MS 用户而言，检测能力早已不仅仅取决于仪器本身，而是整个分析工作流程的洁净度与稳定性。

在半导体行业，哪怕是极微量的金属污染，都可能影响产品良率。因此，如何降低背景干扰、减少污染风险、提升检测稳定性，成为实验室面临的重要挑战。

半导体实验室面临哪些挑战？

挑战一

检测限越来越低

随着先进制程不断演进，客户对痕量金属杂质检测要求不断提高。

实验室不仅需要检测 ppt 甚至 ppq 级别元素含量，更要求：

更低背景值

更高分析稳定性

更好的数据重现性

更低的空白污染

任何来自样品容器、进样系统或气路系统的微量污染，都可能直接影响分析结果。

挑战二

传统耗材难以满足超洁净需求

许多实验室在使用 ICP-MS 进行半导体材料分析时，经常遇到：

样品瓶背景值偏高

自动进样器兼容性不足

PFA 容器需要自行改造

样品存储过程存在污染风险

不少客户甚至需要：

自制支架

3D 打印托架

人工调整瓶位高度

既增加工作量，也增加了分析风险。

挑战三

不同应用需要不同进样流速

对于：

超痕量分析

HF 消解样品

高纯化学品检测

同位素比分析

客户往往希望根据应用需求灵活调整进样流速。然而传统 PFA 雾化器通常仅提供固定流量选择，限制了方法优化空间。

安捷伦推出全新半导体

ICP-MS PFA 耗材解决方案

针对半导体行业客户痛点，安捷伦最新推出 PFA 耗材系列，覆盖 PFA 样品瓶、PFA 试剂瓶和 PFA 氩气加湿器，旨在打造更完整的半导体分析 Workflow。

全新 PFA 样品瓶——为超痕量分析而生

对于半导体实验室而言，样品容器往往是最容易被忽视的污染来源之一。

安捷伦全新 PFA 样品瓶采用高纯 PFA 材料制造，帮助用户获得更低背景水平。

产品优势

更低背景污染

PFA 材料具有优异的化学惰性和洁净度，可有效降低金属本底。特别适用于：

半导体材料

电子化学品

超纯试剂

HF 消解样品

痕量元素分析

与自动进样器完美兼容

无需再使用自制方案。安捷伦 PFA 样品瓶可直接匹配：

I-AS 自动进样器提供：

多种规格选择。

SPS 4 自动进样器提供：

PFA 实验室瓶及专用托架。

推荐产品

I-AS 自动进样器专用 PFA 样品瓶

SPS 4 自动进样器专用 PFA 瓶

不止于样品瓶。除了 PFA 样品容器，安捷伦还同步推出：

PFA 氩气加湿器

全 PFA 接液结构

无金属部件

更低背景

双通道设计

提升高盐样品分析稳定性

帮助实验室进一步降低污染风险，获得更可靠的数据结果。

限时特惠：PFA 样品瓶低至 3 折

为了帮助更多半导体实验室体验超洁净 PFA 耗材带来的优势，安捷伦特别推出：

PFA 样品瓶限时尝新活动

指定 PFA 样品瓶产品低至 3 折优惠

样品架 5 折优惠

氩气加湿器 5 折优惠

（具体产品范围及活动细则请咨询当地安捷伦销售代表。）

让每一个检测结果都值得信赖

当检测限不断逼近仪器和实验室的极限，影响结果准确性的往往不再是仪器本身，而是整个分析流程中的每一个细节。

从 PFA 样品瓶，再到 PFA 氩气加湿器，安捷伦正在帮助半导体实验室构建更加洁净、稳定、高效的 ICP-MS 分析 Workflow。

选择安捷伦 PFA 耗材，让超痕量分析更简单，让每一个数据都更值得信赖。