SEMICON精彩回顾|半导体湿制程工艺良率提升的利器

刚刚过去的SEMICON/ FPD China您参加了吗？

据不完全统计，今年的SEMICON China 展览面积达90,000平方米，1,100多家展商，4,200多个展位，20多场同期会议和活动。覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料、光伏、显示等全产业链携手合作，全 球规模最 大、最 具影响力的半导体专业展！

SEMICON

现场实录

【展台精彩回顾】

梅特勒托利多作为一家精密仪器制造商与服务商，今年也如期在SEMICON亮相，携在线分析仪器（超纯水、化学品分析）、称重（平台秤、称重模块）和实验室解决方案（天平、水分仪等），和新老朋友们见面。

工业称重

在线分析仪器

实验室解决方案

展会现场，众多业内同仁莅临梅特勒托利多展位，与现场的技术顾问进行了交流。

新升级的UPW Unicond® 电阻率传感器

本届SEMICON展览中，梅特勒托利多首次带来了今年5月发布的升级款专用于半导体超纯水的高精度电阻率传感器：UPW Unicond®

在半导体制造中，随着工艺发展，对超纯水和化学品中的杂质离子管控也越发严苛。高精度的电阻率传感器可以对杂质离子进行快速准确的监测，从而助力提高半导体湿制程良率。

七十多年以来，梅特勒托利多的电阻率传感器一直运用于半导体超纯水的监测，也伴随着客户的工艺要求而进行升级。

升级版的传感器精度不仅由原来的±1%提升到了±0.5%，更通过硬件设计和软件优化共同作用，提升了稳定性和可靠性，更好地避免环境温度和电子干扰带来的不确定性。

为什么半导体制造离不开在线分析产品？

在半导体制造过程中，工艺过程中会用到大量的超纯水和化学品，直接与产品接触，因而这些液体或气体是否达到标准将直接影响工艺的良率。

而在线分析产品的传感器就相当于“眼睛”，及时监测液体或气体的状态；接着通过变送器，将“眼睛”所“观测”到的信号进行处理后，及时传输到生产设备或者厂务系统；生产设备或者厂务系统获取到的数据，对半导体制造来说，有许多重要的作用：

及时预警超标，避免不必要的损失

例如在浸没式光刻的浸没液中的TOC超标将影响光刻的质量。

优化工艺、提高良率

例如在晶圆清洗机中的pH，电导率，可确保清洗是否真正有效。

自动化配液、PID控制等

在厂务的中 央供给系统中，根据浓度的变化，进行自动化的配液。

除电阻率传感器以外，梅特勒托利多的在线分析产品的产品线丰富，还可以提供多种条件下pH、溶解氧、臭氧、浊度、硅、钠、氯离子、电导率、浓度、微生物、总有机碳等参数的实时监测，可运用于清洗机、晶圆电镀机等半导体生产设备，半导体厂务中 央化学品、研磨液供给系统、纯废水系统、废气处理环节等。

新升级超纯水电阻率

耐颗粒物、耐腐蚀的

pH传感器系列

在线总有机碳分析仪

溶解氧传感器